品質特征

• 高級智能數(shù)字式正置材料顯微鏡,適合晶圓、電子元器件、金屬、陶瓷、高分子材料、電子元器件,粉塵顆粒等樣品的觀察分析,多種安全設計,保護晶圓,鏡頭及觀察者；

• 模塊化設計,可實現(xiàn)反射觀察、透反射觀察配置的大樣品臺顯微鏡；

• 復消色差光路，整體光路支持25mm視野直徑的大平臺顯微鏡；

• 可選配UV光源,提高觀察分辨率至亞微米結構,UV由大功率LED產生,具有UV和0UV功能的大樣品臺顯微鏡；

• 8x8大平臺顯微鏡,可實現(xiàn)最大8＂晶圓的直接觀察的大樣品臺顯微鏡；

• 6孔位電動物鏡轉盤,配接32mm直徑長工作距離工業(yè)物鏡；

• 內置電動或手動調焦系統(tǒng)；

• 0.7X宏觀物鏡,具有宏觀晶圓檢查功能；

• 可實現(xiàn)明場、暗場、偏光、干涉和斜照明觀察方式；

• 機身內置LED透、反射照明電源,智能光強變化控制照明方式；

• 能自動記憶在不同物鏡下和不同觀察方式下最佳的光強、光闌大小及聚光鏡的組合,自動恢復到位,操作簡單快速；

• 機座配觸摸按鈕,控制顯微鏡的操作；

• 光強、光闌、觀察方式和聚光鏡調節(jié)可由按鍵和計算機控制操作,并自動在不同倍數(shù)物鏡下拍的照片中加相應倍數(shù)標尺；

• 具有色溫恒定系統(tǒng),提供工作效率；

• 可連接晶圓搬送機進行連續(xù)工作；

• 可配接攝像頭,數(shù)碼相機進行圖像采集、分析、測量；

• 可配接熒光觀察、高溫熱臺、陰極發(fā)光儀、光度計；

• 可配接自動掃描臺進行多視場非金屬夾雜物分析和顆粒粒度、清潔度分析。

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