臨界點干燥是一個干燥SEM樣品的高效方法。用這種方法可以保存樣品的表面形態(tài)結構，以避免樣品從液態(tài)轉變到氣態(tài)環(huán)境下因表面張力作用而受到結構破壞。在過去，由于需要大量手動操作，臨界點干燥過程非常耗時，并且樣品制備結果重復性很低。在臨界點干燥之前，很多生物樣品通常需要化學固定然后再脫水;在干燥后，需要對樣品鍍膜，使用金，鉑或鈀等金屬，使樣品表面導電化，以適宜SEM分析。